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紅外熱敏微光電開關(guān)傳感器實際上是一種間接測量紅外輻射的器件。它將紅外輻射轉(zhuǎn)化成熱后再進行測量。這類器件應(yīng)用非常廣，如在監(jiān)視、軍事、安全、醫(yī)學以及消費電子產(chǎn)品中均有應(yīng)用。總體來看，這類器件可在較低的制作 成本下獲得很好的性能，批量生產(chǎn)的可行性強。由于需求量大，其實現(xiàn)方法多，包括熱敏電阻、熱電偶、熱釋電、熱膨脹等熱測量方式。 輻射熱測量器是一種利用熱敏電阻進行紅外輻射測量的微傳感器。器件由兩個或兩個以上的熱敏電阻組成，其中一個作為參考電阻，不受入射國內(nèi)射 的影響，另一個則作為輻射敏感元件。一般情況下，精密匹配的兩個熱敏電阻被連接在惠斯通電橋中相對的兩橋臂上。宏觀設(shè)計選用半導體型或熱敏電阻型的敏感元件。由于敏感元件本身對波長不第三，可選波長范圍的濾光窗通常作為封閉的一部分與第三元件制作 成一體，響應(yīng)度的典型值為300V/W。如果沒有濾光窗，這種微傳感器對波長的響應(yīng)曲線非常平坦。 利用微國工技術(shù)很容易實現(xiàn)輻射熱測量器。由于可制作 出很好的熱絕緣微結(jié)構(gòu)，微傳感器的性能也很理想。一種紅外光微傳感器的結(jié)構(gòu)。這種微傳感器的 加工需要用到體國工工敢。由窄的氮化硅支承敏感膜片，以實現(xiàn)熱敏材料的熱絕緣。在敏感膜上用真空沉積方法制作 溫度敏感膜。常用材料包括、氮化鈦等。 |
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