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微波傳感器由微波振蕩器和微波天線組成。微波振蕩器是產生微波的裝置，微波振蕩器由速調管、磁控管或某些固體元件組成。由微波振蕩器產生的振蕩信號需要使用波導管傳輸，然后通過天線發射出去。為了使發射的微波具有較好的方向性，微波的發射天線應該具有特殊的構造和開關而與光電開關傳感器、接近開關傳感器有很大的不同。
由發射天線發出的微波，遇到障礙物時會被吸收或反射，導致其功率發生變化。如果利用接收天線接收障礙物反射回來的微波，并將它轉換成電信號，經過測量電路處理，就可以實現微波檢測。
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